Oxalumina keramička vakuumska ploča je revolucionarni proizvod u području preciznih sustava rukovanja. Izrađen je od α-aluminijeve keramike (α-Al₂O₃) čistoće ≥99,9%, u kombinaciji s projektiranom poroznom strukturom za postizanje optimalne distribucije vakuuma. U usporedbi s tradicionalnim metalnim ili polimernim vakuumskim čašicama, ovo keramičko rješenje u potpunosti eliminira rizik od kontaminacije česticama, dok može izdržati ekstremne temperature (1750°C kontinuirani rad) i korozivna okruženja. Njegova jedinstvena mikrostruktura (jednaka veličina pora 2-5 μm, gustoća 3,89 g/cm³) osigurava submikronsku ravnost (hrapavost površine Ra≤0,1 μm), što ga čini jedinom profesionalnom vakuumskom platformom koja može rukovati poluvodičkim pločicama od 300 mm s točnošću usisavanja od ±0,1 μm.
1. Proboj u materijalnoj izvedbi
Toplinska stabilnost: bez deformacija u ciklusima termičkog udara od 800°C i životni vijek 5 puta dulji od onog kod vakuumskih čašica od legure (okruženje visoke temperature procesa).
Kemijska otpornost: 1-godišnji gubitak težine od 30% uranjanja u sumpornu kiselinu manji je od 0,01 g, prikladno za rad s elektrolitom baterije i proces taloženja kemijskom parom.
Izolacijska svojstva: Snaga probojnog polja doseže 40 kV/mm, osiguravajući siguran rad u komori za plazma jetkanje.
2. Inovacija inženjerskog dizajna
Kontrola poroznosti: 40% poroznosti postiže se postupkom brizganja u gelu, a struktura stijenke pora od 1-3 μm sprječava adsorpciju i deformaciju ultratankih dijelova (≤50 μm).
Inteligentna arhitektura: Ugrađeni temperaturni senzor podržava upravljanje toplinom u stvarnom vremenu od -196 ℃ do okoline s iznimno visokom temperaturom.
